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NEW-6WSB-Web_201507.pdf (447kb)

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ウェハーケースへ
2"4"6"8" 12"

6"ウェハーシッピングボックス(サファイアウェハー対応)
ポケットフラット1.52mm~2.60mm、販売開始致しました。
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産業交流展2010、ご来場誠に有難う御座いました。
2010年11月10日~12日 東京ビックサイト於いて。

MODEL: TACUN-10T
◆クリーンブース等の製作も承ります。
   クリーンルーム
  クリーンベンチ
   エアーシャワー
  クリーンロッカー
   温湿度管理装置等々

●幅広いラインアップ 10?/min~55?/min
●新開発Fanの採用で50%の省力化(従来機比)
●薄型・軽量
●標準品は短納期・低価格化が実現
●HEPAフィルタ(標準品)0.3μm/99.7%up
   ULPAフィルタ0.15μm/99.999up
    ボロンレスフィルタ等の対応可能

MODEL: TACUN-55T
クリーンユニット (TACUNシリーズ)
展示商品

産業交流展2009、ご来場誠に有難う御座いました。
2009年11月4日~6日東京ビックサイトに於いて。

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