サファイア(Al2O3) / ツインリンクス株式会社

単結晶サファイア(Al203)は高純度アルミナを人工的に
結晶に成長させたものです。

酸化アルミニウムの中で一番高純度で、気孔や　粒子間の　境が無く、理論上高密度であり、化学的、電気的、機械的、光学的、表面、熱、耐久特性が有利に組み合わせている。

身近なサファイアとしては腕時計の風防にキズ防止の為に使われています。
また、真空チャンバーの覗き窓などにも使われています。

耐薬品性
　　半導体ウェハーの工程で使われるフッ化水素酸、
フッ素プラズマ等の環境内でも使える。
電気特性
　　電気的絶縁が要求される、高い安定した誘電率を提供。
機械・熱特性
　　1500℃以上の環境に耐えられる。
透過性
　　透過性が高い為、光学ウィンドウなどにも使える。
表面・磨耗特性
　　高平坦度、そして滑らかになるまで磨くことが出来る。

キロプロス法
  結晶形状: シリンダー
  特徴　　 : 光学特性が最も優れている
  　　　　　　直径300mmまでの大口径に対応
　  　　　　　　コスト的に有利である
　  　　　　　　結晶時は純白色
  用途　　　: 光学的用途
  用途事例: 半導体製造装置用部品
　　  　　　　　各種機器用ウィンドウ
　　  　　　　　赤外線光学部品
　　  　　　　　光学部品
　　  　　　　　工学部品
　　  　　　　　LED用基板
　　  　　　　　大型ドーム状製品

HDC法
  結晶形状: 長方形
  特徴　　 : 高い透明性
　  　　　　　紫外線に対して高い安定性
  用途　　　: 主に光学的用途
  用途事例: 半導体製造装置用部品
  　　　　　　  各種機器用ウィンドウ
　  　　　　　　光学部品
　  　　　　　　ウェハー及び基板
　　  　　　　工学部品

EFG法
  結晶形状: リボン・チューブ・ロッド
  特徴　　 : 加工が容易
　　　　　　   紫外線に対して高い安定性を発揮
  用途　　　: 主に産業、機械用
　　　　　　　光学的品質が重要ではない物
  用途事例: 半導体製造装置用部品
　　　　　　　各種機器用ウィンドウ
　　　　　　　赤外線光学部品
　　　　　　　時計用カバーガラス
　　　　　　　テレビ、プロジェクター用フィルター
　　　　　　　光学部品
　　　　　　　熱電対用保護チューブ